多项选择题 薄膜沉积的机构包括那些步骤（）。

多项选择题 晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。

单项选择题 薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。