单项选择题 薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

单项选择题 硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。

单项选择题 决定吸附原子彼此间能否形成一个稳定的核团，以便于进行凝结的主要因素主宰于所形成的核团是否（）而定。