多项选择题 晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。

单项选择题 薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

单项选择题 硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。