单项选择题 用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

多项选择题 真空镀膜室是由（）几部分组成。

单项选择题 真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。