单项选择题
用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。
A.蒸镀 B.离子注入 C.溅射 D.沉积
多项选择题 真空镀膜室是由（）几部分组成。
单项选择题 真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
单项选择题 真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。
