单项选择题 真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。

单项选择题 真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。

单项选择题 （）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。