问答题 确定有光刻胶覆盖硅片的三个生产区，并简单说明光刻胶在各区的作用。

问答题 光刻的主要目的是什么？光刻胶再光刻中的作用是什么？

问答题 哪些基本工艺方法要用到掩膜板？并说明在这些工艺中掩膜板的主要作用。