问答题
光刻的主要目的是什么？光刻胶再光刻中的作用是什么？
目的：在薄膜层上刻蚀出与掩模上完全对应的几何图形以实现选择性掺杂、腐蚀和氧化等目的。作用：光刻区的光刻胶是一......
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问答题 哪些基本工艺方法要用到掩膜板？并说明在这些工艺中掩膜板的主要作用。
问答题 什么是外延层？其主要作用是什么？并说明其在当前IC工艺中的主要应用。
问答题 什么是CMP？其主要作用是什么？最终目的是什么？
