问答题 光刻的主要目的是什么？光刻胶再光刻中的作用是什么？

问答题 哪些基本工艺方法要用到掩膜板？并说明在这些工艺中掩膜板的主要作用。

问答题 什么是外延层？其主要作用是什么？并说明其在当前IC工艺中的主要应用。