单项选择题 电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。

单项选择题 用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。

多项选择题 为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。