问答题
杂质在硅中有哪些扩散机制?
①间隙式扩散; ②替位式扩散。
问答题 简述热生长氧化层与沉积氧化层的区别。
问答题 简述硅热氧化工艺中影响二氧化硅生长的因素。
问答题 简述SiO2在集成电路中的用途。