单项选择题 由于水中阴阳离子都有导电能力，所以水的（）越高，水中离子数就越少。

单项选择题 在半导体器件制造中，对清洗用水的纯度有比较高的要求，要用经过纯化的（）作为清洁用水。

单项选择题 铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。