单项选择题 在半导体器件制造中，对清洗用水的纯度有比较高的要求，要用经过纯化的（）作为清洁用水。

单项选择题 铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。

单项选择题 在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。