单项选择题 在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

单项选择题 金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中（）。

多项选择题 在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。