问答题
简述ULSI对刻蚀的要求。
①对不需要刻蚀的材料（主要是光刻胶和下层材料）的高选择比；②可接受产能的刻蚀速率；③好的侧壁剖面......
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问答题 刻蚀有哪些参数？
问答题 简述法刻蚀的优缺点（与湿法刻蚀比）。
问答题 简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
