问答题
刻蚀有哪些参数?
①刻蚀速率; ②刻蚀偏差; ③选择比; ④均匀性; ⑤刻蚀剖面。
问答题 简述法刻蚀的优缺点(与湿法刻蚀比)。
问答题 简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
问答题 简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。