单项选择题
有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。
A.离子注入 B.刻蚀 C.扩散 D.光刻
多项选择题 空气污染物按照处理性质来分：有（）。
多项选择题 净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。
多项选择题 静电释放带来的问题有哪些（）。
