多项选择题
净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。
A.一般排气系统 B.特殊排气系统 C.制程排气系统 D.专用排气系统 E.排气排水系统
多项选择题 静电释放带来的问题有哪些（）。
单项选择题 由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。
单项选择题 ESD产生（）种不同的静电总类。
