问答题
例举离子注入设备的5个主要子系统。
（1）离子源：待注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。注入离子在离子源中产生（2）引出电极（吸极）和离子......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
问答题 例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。
问答题 什么是结深？
