单项选择题 沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。

多项选择题 沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。

多项选择题 净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。