名词解释
OED/ORD
氧化增强扩散(OED)机理—存在替位-间隙交替的双扩散; 氧化抑制扩散(ORD)机理—以替位扩散为主。
名词解释 薄层电阻
问答题 试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
问答题 什么是扩散的相互作用?试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。