问答题
简述负载和微负载效应的概念
负载效应：要刻蚀硅片表面的大面积区域，则会耗尽刻蚀剂浓度使刻蚀速率慢下来；如果刻蚀的面积比较小，则刻蚀会快些......
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问答题 简述刻蚀的概念及其基本目的
问答题 简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用
问答题 简述正胶和负胶显影效果
