问答题
简述在APCVD SiO2时掺杂PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。
优点：吸附可动离子电荷改善器件界面，降低玻璃的软化点温度易于平坦化。 缺点：易吸潮，一般控制P2O5的含量在4%以下。
问答题 简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。
问答题 简述常压CVD系统（APCVD）的优缺点。
问答题 简述什么是异类反应和同类反应？
