判断题 氮化硅去除使用的是磷酸药液。

判断题 驻波效应破坏了光刻胶图形侧壁的垂直性，也导致光刻胶CD测量的不稳定。

判断题 硅片边缘匀胶后出现毛边异常，是因为EBR药液量不足。