问答题
写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。
费克第一定律：C杂质浓度；D扩散系数（单位为cm2/s）J材料净流量（单位时间内流过单位面积的原子个数）解释：如果在一个......
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问答题 杂质原子的扩散方式有哪几种？它们各自发生的条件是什么？从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
问答题 集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺？各有什么优缺点？
问答题 分别简述RVD和GILD的原理，它们的优缺点及应用方向。
