问答题
什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。
溅射产额：影响因素：离子质量、离子能量、靶原子质量、靶的结晶性只有当入射离子的能量超过一定能量（溅射阈值）时，才能发生溅......
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问答题 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？
问答题 物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
问答题 对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的？
