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直拉单晶硅工艺学

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填空题

不同杂质在硅中的固溶度差别很大。两种元素原子半径差别越大,溶解度();原子外层电子数差别越大,溶解度()。

【参考答案】

越小;越小

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填空题 缩颈是为了排除引出单晶中的()。

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填空题 籽晶定向有三种方法,(),()和()。

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