问答题
半导体工艺中常用的薄膜形成工艺有哪些？并举例说明它们可分别用于哪些材料的淀积（每种工艺只列一种材料）
氧化（Oxidation）：氧化硅（栅氧）；淀积 （Deposition）化学气相淀积（CVD）：......
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问答题 什么是掺杂？硅半导体工艺中采用何种工艺实现掺杂？它们的基本原理是什么？
问答题 列出硅片制造厂的6个主要生产区，简要说明各区的主要作用，并举例至少一种各区的典型设备。
问答题 试给出CMOS IC芯片制造的4种基础工艺，并说明每种工艺的主要作用。
