填空题 光栅尺位移传感器（简称光栅尺），是利用光栅的（）原理工作的测量反馈装置。

填空题 工件坐标系，就是（）坐标系。

填空题 工作坐标系是编程人员在（）使用的坐标系，是程序的参考坐标系。