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半导体物理

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单项选择题

已知Al2O3的相对介电常数为10,若使用它作为替代1.2纳米SiO2的高K栅介质层材料,所需Al2O2的厚度为()。

A.3.1nm
B.0.5nm
C.0.9nm
D.1.7nm

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