单项选择题
下图属于什么光刻机？（）
A.接触式光刻机B.步进扫描光刻机C.分布重复光刻机D.接近式光刻机
单项选择题 对于0.25um及以下的隔离技术采用以下（）方式。
单项选择题 WCVD工艺第一步是（）。
单项选择题 Liner barrier阻挡金属间扩散作用的金属是（）。
