问答题
何谓桥键氧，非桥键氧？它们对SiO2密度有何影响？
连接两个Si—O四面体的氧原子称桥联氧原子，只与一个四面体连接的氧原子称非桥联氧原子。桥联的氧原子数目越多，......
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问答题 何谓掺杂？
问答题 SiO2按结构特点分为哪些类型？热氧化生长的SiO2属于哪一类？
问答题 CMP（CMP-chemical mechanical polishing）包括哪些过程？
