单项选择题

A.晶体管,电子管,中小规模集成电路,大规模集成电路
B.晶体管,电子管,大规模集成电路,超大规模集成电路
C.电子管,晶体管,中小规模集成电路,大、超大规模集成电路
D.电子管,晶体管,大规模集成电路,超大规模集成电路