填空题 薄膜式气缸是一种利用压缩空气通过（）推动活塞杆作往复直线运动的气缸。它由（）、（）、（）和活塞杆等零件组成。

填空题 气动执行元件是将压缩空气的（）转换为（），驱动机构作直线（）、摆动和（）

填空题 气源调节装置由（）、（）和（）三部分组成，也称之为三联件。