判断题 空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。

判断题 激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。

判断题 采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。