问答题
离子注入后为何退火？
因为大部分注入的离子并不是以替位形式处在晶格点阵位置上，而是处于间隙位置，无电活性，一般不能提供导电性能，所以离子注入后......
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问答题 离子注入后退火的作用是什么？
问答题 什么是离子注入损伤？
问答题 有哪些损伤类型？
